镀膜机操作规程

镀膜机操作步骤开机的程序: 开水,开气,开电源,开冷阱→开机械泵→开预阀→开扩散泵→关预阀→开低阀.(抽几分钟)蒸镀前:开放气→开室门清理真空室→旋转坩埚→添加膜料→换比较片→装镜片上盘(保证镜片表

镀膜机操作步骤 :,,, 开机的程序开水开气开电源开冷阱→开机械泵→开预阀→ 开扩散泵→关预阀→开低阀.(抽几分钟) : 蒸镀前 开放气→开室门清理真空室→旋转坩埚→添加膜料→换比较片 (,) →装镜片上盘保证镜片表面干净并且要放平→关闭室门→关放气 30,100 →关预阀→开低阀→开工作电压为ⅴ烘烤电压为ⅴ(此时扩 .(5.0Pa) 散泵温度应为195度)→开复和真空计当低真空到时→关低 阀→开预阀→开高阀→开枪灯丝 熔料: 当高真空到时(7.0E-3)→确保束流为零,挡板关闭→开高压→先 让灯丝聚焦的亮点在膜料中间→慢慢加束流(三氧化二铝220,氧化 锆240,氟化镁60-70)→熔料后确保束流为零→关高压. : 蒸镀 →把 ,,100v, 确保控制波长光控电源都正常工作电压为调为调节 ,,(). 膜厚仪为膜料相应数值旋转比较片坩埚→先把膜料扫一遍加热 ( 找到亮点时确保束流合适开挡板三氧化二铝220,氧化锆240,氟 <> 化镁30,)镀的过程中时刻监视膜厚仪的变化跳动的幅度跟点的 .,, 位置镀完后关束流为零高压挡板都关闭然关枪灯丝→后关工作电 ,,(). 压烘烤电压→关高阀→关复合真空计→开放气阀十分钟后