AlN基MEMS风速风向集成传感器的设计的中期报告

AlN基MEMS风速风向集成传感器的设计的中期报告一、研究背景随着微机电系统（MEMS）技术的迅猛发展，MEMS风速风向传感器作为一种新型的传感器，已逐渐得到广泛研究和应用。MEMS风速风向传感器具有