专题资料20212022年01190660_薄膜材料与技术_09级_第5章_薄膜表征
- 薄膜厚度及沉积率表征方法的主要分类:5.1.1 气相原子密度法一、测量原理 (如右图所示,与电离真空计类似):1、气相原子进入探头 灯丝热电子轰击 电离;2、电场作用下
专题资料20212022年01190660_薄膜材料与技术_09级_第5章_薄膜表征