电弧离子镀TiN薄膜中的缺陷及其形成原因

电弧离子镀TiN薄膜中的缺陷及其形成原因电弧离子镀TiN薄膜中的缺陷及其形成原因 第19卷第l期 2006年2月 中国表面工程 CHINASURFACEENGINEERING ,,0l_l9No.1