(三)MOSFET栅氧化层的性能退化

微电子器件与 IC 的可靠性与失效分析—— MOSFET 栅氧化层的性能退化— ——Xie Meng-xian. （微电子器件与 IC 的可靠性与失效分析—— MOSFET 栅氧化层的性能退化—