砷化镓晶片表面自然氧化问题研究

砷化镓晶片表面自然氧化问题研究摘要：本文用椭偏仪测量砷化镓表面氧化层的厚度，并用XPS分析砷化镓表面氧化层的化学组成和氧化层的厚度，发现，清洗后的砷化镓晶片表面会发生自然氧化反应，自然氧化层主要有Ga