等离子体刻蚀

等离子体刻蚀z 集成电路的发展1958年： 第一个锗集成电路1961年： 集成8个元件目前： 集成20亿个元件对比：第一台计算机（EN IAC，1946），18000 只电子管, 重达30 吨, 占地