多晶砷化镓薄膜的制备及其性能研究

第呼卷 第年期半导学 报,月,。,峪多晶砷化稼 薄 膜 的 制备 及 其性能研究高元恺 韩爱珍 赵永春 林逸青哈 尔 滨 工业 大 学 控 制 工 程 系摘要利 用 扫 描 电 子 显微镜晶砷 化 稼