激光晶化能量对多晶硅薄膜晶体管特性影响的研究

激光晶化能量对多晶硅薄膜晶体管特性影响的研究 　　摘 要 本文利用准分子激光晶化技术制备了低温多晶硅薄膜晶体管，研究了不同激光晶化能量密度对多晶硅薄膜晶粒尺寸以及器件电学特性的影响。为了进一步阐释激光