表面工程技术4化学气相沉积

§4 化学气相沉积§4.1 概述化学气相沉积：是把含有薄膜组成元素的一种或几种化合物或单质气体供给基片，使它们在基片表面发生化学反应，生成所要的薄膜。简称CVD（Chemical Vapor Depo