第三章薄膜制备技术—溅射法

- 溅射：荷能粒子轰击固体表面，固体表面原子或分 子获得入射粒子所携带的部分能量，从而使其射出的现象。1852年Grove研究辉光放电时首次发现了溅射现象。离子溅射：由于离子易于在电磁场中加速或偏转