射频放电等离子体中尘埃颗粒的分布特性研究

射频放电等离子体中尘埃颗粒的分布特性研究射频放电等离子体中尘埃颗粒的分布特性研究摘要：射频放电等离子体是一种常见的等离子体形式，广泛应用于等离子体技术领域。尘埃颗粒的存在对于放电等离子体的稳定性和性能