薄膜的物理气相沉积-蒸发法

- 第2章 薄膜物理气相沉积---蒸发法 - 主 要 内 容 - 引 言2.1 物质的热蒸发 2.2 薄膜沉积的厚度均匀性和纯度 2.3 真空蒸