氢气在半导体集成电子工业领域的应用

氢气在半导体集成电子工业领域的应用 在晶体的生长与衬底的制备、氧化工艺、外延工艺中以及化学气相淀积（CVD）中，均要用到氢气。半导体工业对气体纯度要求极高，微量杂质的“掺入”，将会改变半导体的表