MEMS惯性传感器技术的误差补偿及可靠性研究

MEMS惯性传感器技术的误差补偿及可靠性研究随着现代科学技术的不断发展，MEMS惯性传感器技术被广泛应用于工业生产的多个领域中。然而，MEMS惯性传感器仍然存在误差和可靠性问题，这些问题限制了其在许多