ZnO薄膜压电效应仿真研究

ZnO薄膜压电效应仿真研究摘要本文探讨了ZnO薄膜的压电效应，使用有限元仿真方法模拟了ZnO薄膜在外界应力作用下的压电响应。通过调节外界应力大小和方向，研究了ZnO薄膜的压电效应特性。结果表明，ZnO