SiC MOS界面氨等离子体处理及电学特性研究的任务书

SiC MOS界面氨等离子体处理及电学特性研究的任务书任务书课题名称：SiC MOS界面氨等离子体处理及电学特性研究1. 研究背景与意义硅基电力器件有着很好的热稳定性和耐高压性能，然而传统的硅基电力器