硅、锗衬底上稀土金属氧化物薄膜的分子束外延生长、结构及其物理特性

硅、锗衬底上稀土金属氧化物薄膜的分子束外延生长、结构及其物理特性硅和锗这两种半导体材料在电子器件中应用广泛。随着半导体器件的不断发展，对于材料的性质和特性研究也愈发重要。近年来，稀土金属氧化物薄膜的研