基于反射光谱的单层抗反射膜的非在位膜厚精确控制

基于反射光谱的单层抗反射膜的非在位膜厚精确控制基于反射光谱的单层抗反射膜的非在位膜厚精确控制摘要本文研究了基于反射光谱的单层抗反射膜的非在位膜厚精确控制方法。通过反射光谱技术，可以精确地测量单层抗反射