磁控溅射法制备薄膜材料实验报告

实验一  磁控溅射法制备薄膜材料1、实验目的1、详细掌握磁控溅射制备薄膜的原理和实验程序； 2、制备出一种金属膜，如金属铜膜；  3、测量制备金属膜的电学性能和光学性能；  4、掌握实验数据处理和分析