半导体物理学ch33扩散与离子注入

- 4.6 扩散与离子注入 - 杂质掺杂 - 掺杂：将需要的杂质掺入特定的半导体区域中，以达到改变半导体电学性质，形成PN结、电阻、欧姆接触磷(P)