微电子器件的可靠性研究论文

微电子器件的可靠性研究论文 目前，飞速发展的微电子技术和不断缩小的器件尺寸，都使得由于器件可靠性而造成的影响越来越严重.以静电放电(ElectroStaticDischarge，ESD)为例，在静