容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究

容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究摘要本文基于容性耦合等离子体腔室放电特性的仿真研究，对其机理和模拟过程进行了详细的探讨。通过建立数学模型和进行仿真计算，研究了容性耦合等离子体腔室放电的特性，包括放