氮化镓衬底及其生产技术

氮化镓衬底及其生产技术氮化镓衬底　　用于氮化镓生长的最理想的衬底自然是氮化镓单晶材料，这样可以大大提高外延膜的晶体质量，降低位错密度，提高器件工作寿命，提高发光效率，提高器件工作电流密度。可是，制备