面向纳米扫描的柔性微动平台建模与跟踪控制的开题报告

面向纳米扫描的柔性微动平台建模与跟踪控制的开题报告一、研究背景随着纳米技术的发展，纳米材料的研究和制造已成为当前材料科学领域的热点，而纳米表面形貌的研究则是纳米材料研究的重要方向之一。纳米表面形貌的观