基于黑硅吸收层和多层纳米组合薄膜的红外探测器的制备及研究

基于黑硅吸收层和多层纳米组合薄膜的红外探测器的制备及研究摘要：本文基于黑硅吸收层和多层纳米组合薄膜，研究并制备了一种新型的红外探测器。该探测器在红外光谱范围内表现出较高的敏感度和选择性，具有广泛的应用