微机电系统器件设计综合与优化方法研究的开题报告

微机电系统器件设计综合与优化方法研究的开题报告1. 研究背景与意义微机电系统(MEMS)是一种新型的微观尺度加工技术，它将传感、控制、信息处理等技术集于一体，具有体积小、功耗低、成本低、性能优良、集成