【精选】极大规模集成电路制造装备及成套工艺-国家科技部

【精选】极大规模集成电路制造装备及成套工艺-国家科技部附件1“极大规模集成电路制造装备及成套工艺〞国家科技重大专项2022年度课题申报指南二○一二年五月工程任务：22/20nm先导产品工艺开发 工程