SiAlN_x薄膜的应力释放模式及力学性能研究

SiAlN_x薄膜的应力释放模式及力学性能研究近年来，SiAlN_x薄膜在高温高压和高速摩擦等极端工况下的应用越来越广泛。然而，薄膜内部产生的应力使其脆性增加，限制了其应用范围。因此，研究SiAlN_