半导体工厂大宗气体系统设计

半导体工厂大宗气体系统的设计 搞要 本文对集成电路芯片厂中的大宗气体系统的设计过程作了概括性的描述，对当前气体设计技术及其发展方向作了探讨，同时结合自己对多