纳米光栅微陀螺噪声分辨率分析

纳米光栅微陀螺噪声分辨率分析摘要：本文探讨了利用纳米光栅技术开发的微陀螺的噪声分辨率。首先介绍了微陀螺和纳米光栅的原理和工作原理，然后对微陀螺的噪声源进行了分类和分析。最后，对纳米光栅技术在陀螺噪声分