磁控溅射沉积zno纳米薄膜及其tft器件研究

摘要 薄膜晶体管在有源矩阵寻址液晶显示器(舢viLCD)中处于关键地位，它的 研发历来是该领域研究中的重点。非晶硅薄膜晶体管(c【一Si TFT)易于在低温下 大面积制备，技术成熟，是目前使用最广的技