椭圆偏振法测量薄膜厚度及其折射率

实验名称：  椭圆偏振法测量薄膜厚度及其折射率      一、实验目的1、利用椭偏仪测量硅衬底薄膜的折射率和厚度；提高物理推理与判别处理能力2、用自动椭偏仪再测量，进行比对；分析不同实验仪器两种方式的