大面积微纳结构的制备及其光学特性

大面积微纳结构的制备及其光学特性摘要：微纳结构是一种具有特殊形貌或尺寸的材料，具有优异的光学特性。本论文介绍了大面积微纳结构的制备方法，包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、自组装等方法，并探讨了其在光学领域