直拉单晶硅中杂质和位错学习教案

- 引言 - 有意掺入电活性杂质控制电导率和导电类型（P，B)直拉单晶硅原材料来源复杂成本控制拉单晶形成过程中伴随着各种缺陷和杂质的引入硅片中对性能没有明显影响的一些缺陷和硅中的