薄膜的物理气相沉积(Ⅰ)-蒸发法

- 第三章 薄膜制备技术-蒸发法 - - 一、真空蒸发法制备薄膜的基本原理（重点）二、真空蒸发的设备三、汽化热和蒸汽压 四、蒸发的速率五、元素、化合物、合