ZL101A铝合金表面磁控溅射镀TiN薄膜的研究

ZL101A铝合金表面磁控溅射镀TiN薄膜的研究摘要：本文针对ZL101A铝合金表面进行磁控溅射镀TiN薄膜的研究，采用了多种实验方法和表征手段进行分析，研究结果显示：通过优化磁场强度和气体流量等参数