基于Petri网的单臂组合装置晶圆重入加工过程的调度分析与仿真

基于Petri网的单臂组合装置晶圆重入加工过程的调度分析与仿真引言现代半导体工业对晶圆的加工要求越来越高，必须在工艺流程中引入更多的复杂装置来确保成品质量。其中，单臂组合装置是用来实现晶圆重入加工的重