BN薄膜的残余压缩应力研究及紫外光响应的初步探索的中期报告

BN薄膜的残余压缩应力研究及紫外光响应的初步探索的中期报告中期报告一、研究背景随着科技的发展，薄膜技术已经应用于许多领域，如集成电路、太阳能、显示屏等。而本项目的研究对象是一种具有紫外光响应的BN薄膜