微型机械加工技术发展现状及趋势分析(doc7)(1)

微型机械加工技术发展现状及趋势分析一、概念 微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于