大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究

大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究摘要：本文针对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准问题进行了实验研究。首先介绍了纳米位移台的基本原理和