PVD薄膜沉积工艺及设备

PVD（物理气相沉积）薄膜工艺及设备介绍赵德胜1主要内容¾一 PVD薄膜沉积的基本原理¾二 PVD薄膜沉积各种方式的比较¾三 PVD薄膜沉积中常见问题¾四 PVD薄膜的表征¾五 纳米加工平台现有设备介