一种基于子孔径自聚焦的高频运动误差估计和补偿方法

一种基于子孔径自聚焦的高频运动误差估计和补偿方法随着精密加工技术的不断发展和优化，高精度制造工艺的需求也越来越高。在这种情况下，高精度运动控制系统的准确性和稳定性也变得越来越重要。高精度运动控制系统的