基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量

基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量随着科学技术的不断发展，MEMS技术迅速发展。MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）技术是将微米级几何体素制成微机电系统的