谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究的开题报告

谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究的开题报告一、选题背景微电子机械系统（MEMS）技术已经在航空、汽车、医疗、工业监控等领域得到广泛应用。其中，MEMS压力传感器是一个重要的应用领域。传统的压力传