微机电系统（MEMS）动力学特性研究

上海交通大学博士后学位论文微机电系统（MEMS）动力学特性研究姓名：张文明申请学位级别：博士后专业：动力机械及工程指导教师：黄震;孟光20080601上海父通大学博上后研究工作报十． 微钒电系统(ME