电镀原理介绍

1PVD(physical vapor deposition) Introduction邱 宗 科Robin.ChiuR&D of EVERSKILLrobin.chiu@everskill.co

1 PVD(physicalvapordeposition)Introduction 邱宗科 Robin.Chiu R&DofEVERSKILL robin.chiu@everskill.com.tw 2 EVERSKILL 課程大綱 v 真空概念 vPVD 基本製程加工原理介紹 vPVD 在塑膠與五金加工的差異 vPVD/ 加工材料設備 vPVD 製程在通訊產業的應用 vPVD 加工限制 3 EVERSKILL 真空之分類 n 粗略真空 (roughvacuum)760—1torr ( 黏滯流