铜在含碘酸钾的CeO2浆料中CMP的抛光速率及影响因素的研究

铜在含碘酸钾的CeO2浆料中CMP的抛光速率及影响因素的研究铜在含碘酸钾的CeO2浆料中CMP的抛光速率及影响因素的研究 有色金属(冶炼部分)2007年4期?53? 铜在含碘酸钾的CeO2浆料中CMP