激光定向与硅单晶中位错,层错的观察

激光定向与硅单晶中位错、层错的观察实 验 目 的1．学习硅单晶的激光定向原理。2．掌握激光定向仪确定晶向的方法。3．了解硅单晶中晶体缺陷的腐蚀显示方法。实 验 原 理要研究半导体性质和制造半导体器件，