合肥工业大学微电子工艺课件(本科)第一章半导体衬底

第一章 半导体衬底主讲：张彦E-mail: zhangyan@hfut.edu.cn合工大电物学院微电子学教研室本章内容 硅的晶体结构 晶向、晶面、堆积模型 硅晶体中缺陷和杂质 晶体生长 硅